Bearing Ratio

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Bearing Ratio

Bearing ratio曲线是波幅分布函数(ADF)不可或缺的一部份,用来定量在一个扫描表面中的物质跟空气的比值。

 

Abbot-Firestone curve

Abbot-curve

Bearing area curve

Material ratio curve

 

以上的名词都是描述Bearing ratio

 

对一个已知深度的轮廓画一条水平剖面线来获得材料跟空气的比值. 如下图,蓝线当作是一个深度为0的平面.在這個平面组成里沒有物質,100%為空氣。

 

Example - Bearing Ratio

Example Bearing Ratio Curve: Dicing Saw Qualification

 

图中的红色线是在深度20um的位置的一个平面,物质跟空气各占有相当的比例。 这个比例可以通过计算求得,物质所占的总长(L1,L2,L3…)除以扫描长度。这个位置的表面跟空气的比大约是84%。黄色线代表在66um位置处的平面,比例达到100%。

 

Bearing ratio曲线包含一直方图,用来显示材料比例在不同深度的变化。