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平坦化工具用于去除表面纹理中样品的原有形状，ProfilmOnline有下列五种平坦化功能： 平面，普通平面，球形，多项式和圆柱. |
使用此工具时，选择您想要的平坦化功能，而原始图像减去外形图像即成为后处理的平坦化的图像.
The Operator: Remove Form dialog box
平面: |
与三点调平法相似，通过选择图像上的点来产生平面，然后从表面移除， ProfilmOnline可选择自訂三点形成的平面. |
普通平面: |
与小平面调平法的方式相似，通过计算平行于平面中的小平面， 最适用于具有不同高度的多个不同平面的表面，如阶梯高度标准片. |
圆柱: |
圆柱法侦测且移除任何原有的圆柱形状。适合将圆柱体的隆起部位转成完美的水平或垂直方向. |
球形: |
软件会侦测并移除图像中最吻合的球形. |
多项式: |
多项式方法用于计算测量表面的最佳多项式曲线，去除的表面越复杂，則需要更高階的多項式。对话框可输入1到13间的范围. |
外形删除分析中可移除扫描图像的定义区域。可选择用户定义的多项式，在起始图像中单击建立排除范围（至少需要3个点），或在样本上放置可调整的矩形或圆形轮廓，可以同时使用多个外形.
单击忽略所选区域按钮定义轮廓删除所需的特征后，或单击使用所选区域将其替换。忽略区域将以棕褐色调比例突出显示，而使用区域将使用彩虹比例。使用对调/忽略按钮切换已使用和已忽略的部分。单击使用整个图像可删除所有轮廓.