Sq - 均方根高度

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Sq - 均方根高度

均方根(RMS) 高度是在取样区域内轮廓表面跟基准面的之间Z轴距离的均方根值。数学表达式为:

 

Equation - Sq - RMS Roughness

 

M和N分别为在取样区域内X轴和Y轴方向上的采样点数.

 

Sq是常用的粗糙度参数,在统计的领域里表示样品标准偏差.

 

Equation - Sq - Graphical Rep