测量自定义区域的平均阶高。单击“阶高”以打开侧面板，单击“矩形”选项"。 ProfilmOnline将自动搜寻矩形阶高边界，并以通过顶视图绘制的红白色虚线表示 |
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如果未正确搜寻到阶高边界，请单击并拖动黄色區域外框以更改测量区域。 单击“更新”以显示選取的阶高位置。 尽可能選取較大测量区域，並且确定正确的阶高位置，以确保計算使用較多的樣本數據。 步骤2中的测量框大小调整至為重要
单击侧面板中“步骤2”，软件将在定义的测量区域内标记为1和2的区域。 可根据需要在定义的区域内移动和调整区域的大小。 测量区域1和2是對稱的，更改任1测量区域則另一区域会立即對應改變. 测量区域的尺寸不能大于由虚线和外边缘限定的空间
当启用自动更新表面调平，还可以使用矩形区域对图像进行水平调整。可选择要用作参考的矩形区域
材料设置选项可以设定相异材料，可解决来自不同材料的反射中的相移导致的台阶高度测量误差。例如，您需要测量一个铝镀层的玻璃基板。由于表面的不同反射特性引起的相移误差，软件可能错误地定位台阶的顶部 (相对于基板)。 ProfilmOnline 启用相异材料设置选项可解决此问题，以便计算准确的階高.
确保每个矩形设置正确的材料。上图中，矩形1应该设置台阶顶部的铝，而矩形2设置为电介质（玻璃）.
单击“完成”以修正设置并显示“阶高”结果，也就是两个矩形的平均高度差.