直方图阶高测量模式是一种较复杂且多用途的工具，可用于测量多样化的样本，例如具有多重阶高的样本，或者无法明确定义阶高界线的样本.
要启用直方图模式，请单击顶部功能区“分析”部分的“阶高”按钮，然后单击“阶高测量”侧面板中的“直方图”选项.
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选择后，ProfilmOnline会显示当前图像的直方图。此图表按高度显示数据中各位置高度分布。左图来自切割机用户校正切割锯数据。有很大比例位置其高度分布在60微米范围附近（样品的顶部），随着高度每降低10微米为单位可发现幾組小比例分布。通过设置进一步分析如下:
最小相对频率由数据中的红色垂直矩形表示。为了可辨识设置高度值为直方图区域，它必须大于最小设定值。要设置最小设定值，请在对话框中输入数字，或单击并拖动 红色垂直矩形。单击“更新”以应用更改最小相对频率由数据中的红色垂直矩形表示。为了可辨识设置高度值为直方图区域，它必须大于最小设定值。要设置最小设定值，请在对话框中输入数字，或单击并拖动 红色垂直矩形。单击“更新”以应用更改.
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间距数量定义图形上有多少直方图分组。较大的数字用于可以精确地看到高度快速变化高变化，而较小的设置用于隐藏粗糙表面的杂讯。任何超过160的设定值会自动设置为连续模式，也就是最大分辨率选项.
最小高度变化是指直方图分组的宽度。该数字越大，直方图区域越宽。使用左侧图为例，1％的变化得出了图像中显示的结果。将值增加到5％将排除G1，G5和G7以外的各组，值增加到10％将仅留下G7.
高度分组的分布对应每个直方图分组的宽度。默认设置为相邻最小值选项, 其包括任何大于最小相对频率的分组中的任何列以及相邻列，直到在任一侧找到最小相对频率。高度范围比例选项依照相对频率设置分组的宽度。频率为0％则仅选择大于最小相对频率的列。频率为100％则选择相邻列，一直到最大相对频率的分组.
在定义直方图高度分组时，直方图内的分组和2D图上以不同颜色标记，从而更容易在应用时看到变化.
在定义分组的情况下，右侧会显示各种不同的统计数据。包含各分组相对于所选原点平均高度列表。下方是2D图.
2D图下方包含两个表格。第一个表格列出了每个分组相对于其他分组的平均高度。第二个表格列出了每分组的高度基本数据：包括最大最小和平均高度，方位角和表面平面倾角.